Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Библиографическая информация
Главный автор:	Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Другие авторы:	Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Томск 2018
Предметы:	Тонкопленочные покрытия электронный ресурс диссертации труды учёных ТПУ осаждение покрытия хром никель магнетронные диоды мишени тонкие пленки тонкопленочные материалы магнетронное распыление металлические мишени кристаллические структуры плазма распылительные системы магнетронные системы коррозионная стойкость
Online-ссылка:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52755

Похожие документы