Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Гренадёров, А. С.
Other Authors:	Соловьёв специалист в области водородной энергетики доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук (727)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск [Б. и.] 2018
Subjects:	Углеродные пленки, тонкие > Получение Плазменная металлизация кремний-углеродные пленки алмазоподобные пленки формирование плазмохимическое осаждение плазмогенераторы описание вакуумные промежутки электрическая прочность повышение вакуумная изоляция вакуумное оборудование энергоемкость увеличение авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Online Access:	Перейти в каталог НТБ ТПУ

Similar Items