|
|
|
|
| LEADER |
02222nam a2200421 4500 |
| 001 |
libtpu00342313 |
| 008 |
190123s2018 ru a d 0001 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook371026
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 040 |
|
|
|a RU
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 539.23(04)
|
| 080 |
|
|
|a 621.793.74(04)
|
| 084 |
|
|
|a 01.04.04
|2 oksvnk
|
| 100 |
1 |
|
|a Гренадёров, А. С.
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения
|b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|b спец. 01.04.04
|c А. С. Гренадёров
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|b [Б. и.]
|c 2018
|
| 300 |
|
|
|a 20 с.
|b ил.
|
| 500 |
|
|
|a Защита сост. 26.12.2018 г.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 19-20 (9 назв.)
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Углеродные пленки, тонкие
|x Получение
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Плазменная металлизация
|
| 653 |
|
|
|a кремний-углеродные пленки
|
| 653 |
|
|
|a алмазоподобные пленки
|
| 653 |
|
|
|a формирование
|
| 653 |
|
|
|a плазмохимическое осаждение
|
| 653 |
|
|
|a плазмогенераторы
|
| 653 |
|
|
|a описание
|
| 653 |
|
|
|a вакуумные промежутки
|
| 653 |
|
|
|a электрическая прочность
|
| 653 |
|
|
|a повышение
|
| 653 |
|
|
|a вакуумная изоляция
|
| 653 |
|
|
|a вакуумное оборудование
|
| 653 |
|
|
|a энергоемкость
|
| 653 |
|
|
|a увеличение
|
| 653 |
|
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
1 |
|
|a Соловьёв
|c специалист в области водородной энергетики
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|g Андрей Александрович
|4 727
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НТБ ТПУ
|u https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342313
|
