Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.04

Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Гренадёров, А. С.
Other Authors:	Соловьёв специалист в области водородной энергетики доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук (727)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск [Б. и.] 2018
Subjects:	Углеродные пленки, тонкие > Получение Плазменная металлизация кремний-углеродные пленки алмазоподобные пленки формирование плазмохимическое осаждение плазмогенераторы описание вакуумные промежутки электрическая прочность повышение вакуумная изоляция вакуумное оборудование энергоемкость увеличение авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Online Access:	Перейти в каталог НТБ ТПУ

Similar Items

Формирование а-С:H:SiOₓ пленок методом плазмохимического осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/
by: Гренадёров, А. С. Александр Сергеевич
Published: (2018)

Формирование а-С:H:SiOₓ пленок методом плазмохимического осаждения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/
by: Гренадёров, А. С. Александр Сергеевич
Published: (2018)

Property control methods of diamond-like silicon-carbon films for micro- and nanoelectronics
by: Barinov, A. D.

Наноматериалы IV. Тонкие пленки как наноструктурированные системы
by: Белянин, Алексей Федорович
Published: (2008)

Спектры оптического поглощения однослойных углеродных нанотрубок, синтезированных аэрозольным методом газофазного осаждения
by: Рыбаков, Михаил Сергеевич

Тонкая углеродная пленка как сепаратор легких газов

Permeability of ultra-thin amorphous carbon films

Вакуумное нанесение тонких пленок/
by: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Published: (1967)

Электропроводность тонких пленок на основе однослойных углеродных нанотрубок, выращенных методом химического парофазного осаждения

Формирование контактов металл-полупроводник с металлизацией на основе Al и Cu для GaAs СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
by: Ерофеев, Е. В. Евгений Викторович
Published: (2012)

Формирование контактов металл-полупроводник с металлизацией на основе Al и Cu для GaAs СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
by: Ерофеев, Е. В. Евгений Викторович
Published: (2012)

Исследование влияния обработки лазерными импульсами наносекундной длительности на изменение структурно-фазового состава и трибологических свойств углеродных алмазоподобных покрытий

CVD - метод Химическое парофазное осаждение
by: Сыркин, Виталий Григорьевич
Published: (2000)

Особенности источника ионов на основе тлеющего разряда для углеводородов
by: Чепкасов, Сергей Юрьевич

Вакуумная технология и оснастка Материалы международной конференции( г. Паневежис (Литва), 29-30 октября 1998)
Published: (1999)

Conductivity of thin films based on single-walled carbon nanotubes grown by chemical vapor deposition

Технология изготовления ферромагнитных пленок
by: Апокин, Игорь Алексеевич
Published: (1966)

Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т..
by: Василенко, Н. В. Николай Васильевич, et al.
Published: (1995)

Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т..
by: Василенко, Н. В. Николай Васильевич, et al.
Published: (1996)

Взаимосвязь атомной структуры, морфологии и свойств гидрированных пленок углерода Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.10
by: Стукач, Сергей Николаевич
Published: (1996)

Процессы при высоком напряжении в вакууме
by: Сливков, Игорь Николаевич
Published: (1986)

Плазменная металлизация в вакууме: научное издание/
by: Достанко, А. П. Анатолий Павлович, et al.
Published: (1983)

Наноструктуры в электронике и фотонике
Published: (2010)

Вакуумная техника в производстве интегральных схем: /
by: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Published: (1972)

Разработка и исследование пучково-плазменных методов повышения эксплуатационных свойств изделий из металлических материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 01.04.07/
by: Уемура, К. Кензуке
Published: (2011)

Особенности короткоимпульсной электрической прочности вакуумной изоляции
by: Нефедцев, Евгений Валерьевич

Формирование a-C:H:SiOx пленок методом плазмохимического осаждения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 01.04.04
by: Гренадеров, Александр Сергеевич
Published: (2018)

Наноалмазы и родственные углеродные наноматериалы компьютерное материаловедение
by: Беленков, Евгений Анатольевич
Published: (2000)

Исследование водородсорбционной способности углеродных нановолокон методом молекулярных функций распределения диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07
by: Просекин, Михаил Юрьевич
Published: (2007)

Свойства нанокомпозитных никель-углеродных пленок, формируемых методом магнетронного распыления

Вакуумные машины и установки/
by: Розанов, Л. Н. Леонид Николаевич
Published: (1975)

Исследование процессов получения металлических пленок методом электрохимического осаждения: руководство к лабораторной работе/
by: Чикин, Е. В. Евгений Владимирович
Published: (2006)

Physics, chemistry and application of nanostructures reviews and short notes to nanomeeting-2005, Minsk, Belarus, 24-27 May 2005
Published: (2005)

Структура поверхности и автоэмиссионные свойства углеродных материалов
by: Шешин, Евгений Павлович
Published: (2001)

Углеродные материалы свойства, технологии, применения : [учебное пособие]
by: Колокольцев, Сергей Николаевич
Published: (2012)

Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/
Published: (1994)

Тонкие пленки и их применение в радиоизмерительной технике
by: Югов, Владимир Алексеевич
Published: (1964)

Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн..
by: Минайчев, В. Е. Виктор Егорович
Published: (1989)

Труды V международной конференции "Актуальные проблемы электронного приборостроения, АПЭП-2000", Новосибирск, 26-29 сентября, 2000 В 7 т.
Published: (2000)

Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук./
by: Смирнова, К. И.
Published: (1971)