Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук

Библиографическая информация
Главный автор: Сунь Чжилэй, физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1992-
Другие авторы: Пичугин российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск 2020
Предметы:
Online-ссылка:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284