Сближение ступеней на поверхности Si(100): эксперимент и моделирование

Методом дифракции быстрых электронов (ДБЭ) исследована эволюция вицинальной поверхности Si(100) при эпитаксиальном росте в системе молекулярно-лучевой эпитаксии в широких диапазонах изменения температуры T и скорости роста R. Полученные временные зависимости интенсивности рефлекса ДБЭ от сверхструкт...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :Известия высших учебных заведений. Физика Т. 66, № 4. С. 85-92
Другие авторы: Эрвье, Юрий Юрьевич, Есин, Михаил Юрьевич, Дерябин, Александр Сергеевич, Колесников, Алексей Викторович, Никифоров, Александр Иванович
Формат: Статья в журнале
Язык:Russian
Предметы:
Online-ссылка:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001003959