Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность

Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субмиллисекундной длительности. Показана возможность получения ионно-легированных слоёв с толщиной от ме...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 66, № 4. С. 134-137
Other Authors:	Вахрушев, Димитрий Олегович, Гурулев, Александр Валерьевич, Ефимов, Дмитрий Давидович, Иванова, Анна Ивановна, Корнева, Ольга Сергеевна
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	ионная имплантация энергетическое воздействие динамика температурных полей радиационно-стимулированная диффузия глубокое ионное легирование статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001003973