Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность
Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субмиллисекундной длительности. Показана возможность получения ионно-легированных слоёв с толщиной от ме...
Full description
Bibliographic Details
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика
Т. 66, № 4. С. 134-137 |
|---|
| Other Authors: |
Вахрушев, Димитрий Олегович,
Гурулев, Александр Валерьевич,
Ефимов, Дмитрий Давидович,
Иванова, Анна Ивановна,
Корнева, Ольга Сергеевна |
|---|
| Format: | Article
|
|---|
| Language: | Russian |
|---|
| Subjects: |
|
|---|
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001003973
|
|---|
