Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность
Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субмиллисекундной длительности. Показана возможность получения ионно-легированных слоёв с толщиной...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 66, № 4. С. 134-137 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001003973 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02939nab a2200409 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001003973 | ||
| 005 | 20241104202931.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 230623|2023 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.17223/00213411/66/4/17 |2 doi | |
| 035 | |a koha001003973 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность |c Д. О. Вахрушев, А. В. Гурулев, Д. Д. Ефимов [и др.] |
| 246 | 1 | 1 | |a Study of the synergy effects of high-intensity implantation of titanium ions into silicon and the energy impact of the ion beam on the surface |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 7 назв. | ||
| 506 | |a Ограниченный доступ | ||
| 520 | 3 | |a Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субмиллисекундной длительности. Показана возможность получения ионно-легированных слоёв с толщиной от менее 0.1 мкм до более чем 1 мкм в зависимости от флюенса облучения. | |
| 653 | |a ионная имплантация | ||
| 653 | |a энергетическое воздействие | ||
| 653 | |a динамика температурных полей | ||
| 653 | |a радиационно-стимулированная диффузия | ||
| 653 | |a глубокое ионное легирование | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 889745 | |
| 700 | 1 | |a Вахрушев, Димитрий Олегович |9 854052 | |
| 700 | 1 | |a Гурулев, Александр Валерьевич |9 889746 | |
| 700 | 1 | |a Ефимов, Дмитрий Давидович |9 889747 | |
| 700 | 1 | |a Иванова, Анна Ивановна |9 486493 | |
| 700 | 1 | |a Корнева, Ольга Сергеевна |9 506940 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2023 |g Т. 66, № 4. С. 134-137 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001003973 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1003973 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1003973 |d 1003973 | ||
| 039 | |b 100 | ||