|
|
|
|
| LEADER |
02702nab a2200385 c 4500 |
| 001 |
koha001003973 |
| 005 |
20241104202931.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
230623|2023 ru s c rus d |
| 024 |
7 |
|
|a 10.17223/00213411/66/4/17
|2 doi
|
| 035 |
|
|
|a koha001003973
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность
|c Д. О. Вахрушев, А. В. Гурулев, Д. Д. Ефимов [и др.]
|
| 246 |
1 |
1 |
|a Study of the synergy effects of high-intensity implantation of titanium ions into silicon and the energy impact of the ion beam on the surface
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 7 назв.
|
| 506 |
|
|
|a Ограниченный доступ
|
| 520 |
3 |
|
|a Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субмиллисекундной длительности. Показана возможность получения ионно-легированных слоёв с толщиной от менее 0.1 мкм до более чем 1 мкм в зависимости от флюенса облучения.
|
| 653 |
|
|
|a ионная имплантация
|
| 653 |
|
|
|a энергетическое воздействие
|
| 653 |
|
|
|a динамика температурных полей
|
| 653 |
|
|
|a радиационно-стимулированная диффузия
|
| 653 |
|
|
|a глубокое ионное легирование
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Вахрушев, Димитрий Олегович
|
| 700 |
1 |
|
|a Гурулев, Александр Валерьевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Ефимов, Дмитрий Давидович
|
| 700 |
1 |
|
|a Иванова, Анна Ивановна
|
| 700 |
1 |
|
|a Корнева, Ольга Сергеевна
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2023
|g Т. 66, № 4. С. 134-137
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001003973
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1003973
|d 1003973
|
