Взаимодействие примесей Zn и Ni с технологическими примесями в кремнии
Приведены результаты исследований взаимодействия атомов примесей цинка и никеля в кремнии, легированных последовательно, в различных комбинациях c помощью метода рентгеновской дифракции и ИК-фурье-спектрометрии. Степень кристалличности решетки кремния, легированного примесями Zn, Ni, зависит от...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 66, № 5. С. 53-59 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001004106 Перейти в каталог НБ ТГУ |