Взаимодействие примесей Zn и Ni с технологическими примесями в кремнии
Приведены результаты исследований взаимодействия атомов примесей цинка и никеля в кремнии, легированных последовательно, в различных комбинациях c помощью метода рентгеновской дифракции и ИК-фурье-спектрометрии. Степень кристалличности решетки кремния, легированного примесями Zn, Ni, зависит от техн...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 66, № 5. С. 53-59 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001004106 |
| Итог: | Приведены результаты исследований взаимодействия атомов примесей цинка и никеля в кремнии, легированных последовательно, в различных комбинациях c помощью метода рентгеновской дифракции и ИК-фурье-спектрометрии. Степень кристалличности решетки кремния, легированного примесями Zn, Ni, зависит от технологии введения данных примесей. Было обнаружено, что после введения атомов Zn в Si, предварительно легированный Ni (Si<Ni, Zn>), вместе с уменьшением концентрации атомов оптически-активного кислорода улучшается прозрачность кристалла, в то время как в образцах при обратной комбинации легирования (Si<Zn, Ni>) наблюдается обратный эффект. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: 20 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |
| Доступ: | Ограниченный доступ |