Dislocation filter based on LT-GaAs layers for monolithic GaAs/Si integration
The use of low-temperature (LT) GaAs layers as dislocation filters in GaAs/Si heterostructures (HSs) was investigated in this study. The effects of intermediate LT-GaAs layers and of the post-growth and cyclic in situ annealing on the structural properties of GaAs/LT-GaAs/GaAs/Si(001) HSs were studi...
Опубликовано в: : | Nanomaterials Vol. 12, № 24. P. 4449 (1-19) |
---|---|
Другие авторы: | Petrushkov, Mikhail O., Abramkin, Demid S., Emelyanov, Eugeny A., Putyato, Mikhail A., Komkov, Oleg S., Firsov, Dmitrii D., Vasev, Andrey V., Yesin, Michail Yu, Bakarov, Askhat K., Loshkarev, Ivan D., Gutakovskii, Anton K., Atuchin, Victor V., Preobrazhenskii, Valery V. |
Формат: | Статья в журнале |
Язык: | English |
Предметы: | |
Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001008910 Перейти в каталог НБ ТГУ |
Похожие документы
-
Наноразмерные кластеры мышьяка в GaAs
по: Чалдышев, Владимир Викторович - Использование поверхности (311)B GaAs при молекулярно-лучевой эпитаксии сверхрешеток GaAs/AlAs
-
Фазовая диаграмма поверхности GaAs(311)A при молекулярно-лучевой эпитаксии GaAs
по: Путято, Михаил Альбертович - Морфология поверхности и кристаллографические свойства пленок GaAs, выращенных методом МЛЭ на вицинальных подложках Si(001)
- Особенности легирования и комплексообразования при молекулярно-лучевой эпитаксии GaAs