Формирование силицидных пленок металлов ионными методами
Исследована возможность формирования пленок силицидов металлов ионными методами, реализованными с помощью ионно-плазменного распыления в устройстве на основе пеннинговского разряда, а также комбинацией методов термического испарения металлов в высоком вакууме с ассистированием ионным пучком кремни...
Published in: | Прикладная физика № 6. С. 68-75 |
---|---|
Main Author: | |
Other Authors: | , |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001010791 Перейти в каталог НБ ТГУ |