Формирование силицидных пленок металлов ионными методами

Исследована возможность формирования пленок силицидов металлов ионными методами, реализованными с помощью ионно-плазменного распыления в устройстве на основе пеннинговского разряда, а также комбинацией методов термического испарения металлов в высоком вакууме с ассистированием ионным пучком кремни...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Прикладная физика № 6. С. 68-75
Main Author: Данилина, Тамара Ивановна
Other Authors: Чистоедова, Инна Анатольевна, Полынцев, Егор Сергеевич
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001010791
Перейти в каталог НБ ТГУ