APA (7th ed.) Citation

Данилина, Т. И., Чистоедова, И. А., & Полынцев, Е. С. Формирование силицидных пленок металлов ионными методами. Прикладная физика, 0099-44260(2022), .

Chicago Style (17th ed.) Citation

Данилина, Тамара Ивановна, Инна Анатольевна Чистоедова, and Егор Сергеевич Полынцев. "Формирование силицидных пленок металлов ионными методами." Прикладная физика 0099-44260, no. 2022 ().

MLA (8th ed.) Citation

Данилина, Тамара Ивановна, et al. "Формирование силицидных пленок металлов ионными методами." Прикладная физика, vol. 0099-44260, no. 2022, .