|
|
|
|
| LEADER |
03718nab a2200361 c 4500 |
| 001 |
koha001010791 |
| 005 |
20240227171941.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
231121|2022 ru s c rus d |
| 024 |
7 |
|
|a 10.51368/1996-0948-2022-6-68-75
|2 doi
|
| 035 |
|
|
|a koha001010791
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 100 |
1 |
|
|a Данилина, Тамара Ивановна
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Формирование силицидных пленок металлов ионными методами
|c Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова, Е. С. Полынцев
|
| 246 |
1 |
1 |
|a Ion formation of metal silicide films
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 11 назв.
|
| 506 |
|
|
|a Ограниченный доступ
|
| 520 |
3 |
|
|a Исследована возможность формирования пленок силицидов металлов ионными методами, реализованными с помощью ионно-плазменного распыления в устройстве на основе пеннинговского разряда, а также комбинацией методов термического испарения металлов в высоком вакууме с ассистированием ионным пучком кремния. Установлен механизм образования силицидных пленок на различных подложках при сравнительно низкой температуре подложек до 300 оС в условиях ограниченного воздействия плазмы. Изготовлены экспериментальные образцы на основе силицидов Mo, W, W-Re, Ti в широком диапазоне сопротивлений 20-600 Ом/□ с температурным коэффициентом сопротивления (ТКС) менее 10-4 град-1, что позволяет их рекомендовать в качестве проводящих и резистивных слоев для элементов микро- и наноэлектроники. Параметры методов с ассистированием ионными пучками были установлены с помощью моделирования процессов внедрения ионов, осаждения титана с учетом распыления и последующей экспериментальной отработкой режимов при получении пленок силицидов титана. При отжиге при 700 оС состав пленок был близок к дисилициду титана, сопротивление образцов уменьшилось до 1,6 Ом/□, что позволяет рекомендовать разработанные ионные методы в КМОП-технологиях.
|
| 653 |
|
|
|a силициды металлов
|
| 653 |
|
|
|a ионно-лучевая обработка
|
| 653 |
|
|
|a КМОП-структуры
|
| 653 |
|
|
|a низкотемпературные методы
|
| 653 |
|
|
|a силициды
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Чистоедова, Инна Анатольевна
|
| 700 |
1 |
|
|a Полынцев, Егор Сергеевич
|
| 773 |
0 |
|
|t Прикладная физика
|d 2022
|g № 6. С. 68-75
|x 1996-0948
|w 0099-44260
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001010791
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1010791
|d 1010791
|
