Фотодиоды на основе структур Ga2O3/n-GaAs, способные работать в автономном режиме
Исследованы электрические и фотоэлектрические характеристики структур Ga2O3/n-GaAs. Пленку оксида галлия получали ВЧ магнетронным напылением на эпитаксиальные слои n-GaAs с концентрацией N_d=9.5·1014 cм-3. Толщина оксидной пленки равнялась 120 нм. Измерения на частоте 106 Гц показали, что вольт-фара...
Published in: | Физика и техника полупроводников Т. 56, № 9. С. 928-932 |
---|---|
Other Authors: | , , , , , |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001010802 |