Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника",11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнических профилей]

Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника",11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнических профилей]

Bibliographic Details
Other Authors:	Величко, Александр Андреевич, Игнатов, Александр Николаевич, Гришина, Ирина Владимировна
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва [и др.] Инфра-Инженерия 2023
Subjects:	история электроники микроэлектроника наноэлектроника химические элементы электроники химические соединения электроники материалы электроники материалы наноэлектроники микроэлектроника, технологии изготовления наноэлектроника, технологии изготовления нанотехнология кремниевая нанотехнология углеродная жидкокристаллическая технология нанотехнология квантовая молекулярная технология нанобиотехнология OLED-технология наноэлектронные изделия нанопсихология нанотехнологическое оборудование кристаллы, анализ состава ионная спектрометрия, методы электронная спектрометрия, методы электронная микроскопия, методы просвечивающая электронная микроскопия сканирующая электронная микроскопия

Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище
Call Number:	2-059784
	Available Place a Hold

Научная библиотека ТГУ: Читальный зал 5

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Читальный зал 5
Call Number:	621.3 Х462
	Available Place a Hold