Величко, А. А., Игнатов, А. Н., & Гришина, И. В. (2023). Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники: учебное пособие : [для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника",11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнических профилей]. Инфра-Инженерия.
Chicago Style (17th ed.) CitationВеличко, Александр Андреевич, Александр Николаевич Игнатов, and Ирина Владимировна Гришина. Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники: учебное пособие : [для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника",11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнических профилей]. Москва [и др.]: Инфра-Инженерия, 2023.
MLA (8th ed.) CitationВеличко, Александр Андреевич, et al. Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники: учебное пособие : [для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника",11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнических профилей]. Инфра-Инженерия, 2023.
