Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника",11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнических профилей]
| Other Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва [и др.]
Инфра-Инженерия
2023
|
| Subjects: |
| Item Description: | Авт. указ. на обороте тит. л. |
|---|---|
| Physical Description: | 349 с. ил., табл. |
| Bibliography: | Библиогр.: с. 343-349 |
| ISBN: | 9785972913169 |