Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника",11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнических профилей]

Bibliographic Details
Other Authors:	Величко, Александр Андреевич, Игнатов, Александр Николаевич, Гришина, Ирина Владимировна
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва [и др.] Инфра-Инженерия 2023
Subjects:	история электроники микроэлектроника наноэлектроника химические элементы электроники химические соединения электроники материалы электроники материалы наноэлектроники микроэлектроника, технологии изготовления наноэлектроника, технологии изготовления нанотехнология кремниевая нанотехнология углеродная жидкокристаллическая технология нанотехнология квантовая молекулярная технология нанобиотехнология OLED-технология наноэлектронные изделия нанопсихология нанотехнологическое оборудование кристаллы, анализ состава ионная спектрометрия, методы электронная спектрометрия, методы электронная микроскопия, методы просвечивающая электронная микроскопия сканирующая электронная микроскопия


LEADER	03724nam a2200601 c 4500
001	koha001015486
008	231225s2023 ru ad b 000 0 rus d
020			\|a 9785972913169
035			\|a koha001015486
040			\|a RU-ToGU \|b rus \|c RU-ToGU
080			\|a 621.382.049.77(075.8)
080			\|a 621.382-022.532(075.8)
080			\|a 621.315.5/.6-022.532(075.8)
245	1	0	\|a Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники \|b учебное пособие : [для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника",11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнических профилей] \|c А. А. Величко, И. В. Гришина, А. Н. Игнатов [и др.] ; под ред. А. Н. Игнатова
260			\|a Москва [и др.] \|b Инфра-Инженерия \|c 2023
300			\|a 349 с. \|b ил., табл.
336			\|a Текст
337			\|a непосредственный
500			\|a Авт. указ. на обороте тит. л.
504			\|a Библиогр.: с. 343-349
653			\|a история электроники
653			\|a микроэлектроника
653			\|a наноэлектроника
653			\|a химические элементы электроники
653			\|a химические соединения электроники
653			\|a материалы электроники
653			\|a материалы наноэлектроники
653			\|a микроэлектроника, технологии изготовления
653			\|a наноэлектроника, технологии изготовления
653			\|a нанотехнология кремниевая
653			\|a нанотехнология углеродная
653			\|a жидкокристаллическая технология
653			\|a нанотехнология квантовая
653			\|a молекулярная технология
653			\|a нанобиотехнология
653			\|a OLED-технология
653			\|a наноэлектронные изделия
653			\|a нанопсихология
653			\|a нанотехнологическое оборудование
653			\|a кристаллы, анализ состава
653			\|a ионная спектрометрия, методы
653			\|a электронная спектрометрия, методы
653			\|a электронная микроскопия, методы
653			\|a просвечивающая электронная микроскопия
653			\|a сканирующая электронная микроскопия
700	1		\|a Величко, Александр Андреевич
700	1		\|a Игнатов, Александр Николаевич
700	1		\|a Гришина, Ирина Владимировна
852	4		\|a RU-ToGU \|n ru \|h 621.3 \|i Х462
908			\|a учебник
999			\|c 1015486 \|d 1015486
952			\|0 0 \|1 0 \|4 0 \|6 2059784 \|7 0 \|a RU-ToGU \|b RU-ToGU \|c 10024 \|d 2023-12-25 \|g 2075.00 \|o 2-059784 \|p 13820001055045 \|r 2024-04-17 \|y 1
952			\|0 0 \|1 0 \|4 0 \|6 6213_Х462 \|7 0 \|a RU-ToGU \|b RU-ToGU \|c 10005 \|d 2023-12-25 \|g 2075.00 \|o 621.3 Х462 \|p 13820001055046 \|r 2023-12-25 \|y 9

Similar Items