Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника",11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнических профилей]
| Другие авторы: | , , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Москва [и др.]
Инфра-Инженерия
2023
|
| Предметы: |