Высокая чувствительность пленок оксида индия, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии, к аммиаку

Высокая чувствительность пленок оксида индия, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии, к аммиаку

Исследовано влияние H2, NH3, CO и O2 на электропроводящие свойства пленок In2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 200-550oC пленки In2O3 демонстрируют газовую чувствительность ко всем рассмотренным газам, имея относительно высокое быстродействие и повторяемос...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Физика и техника полупроводников Т. 57, № 3. С. 145-152
Other Authors: Алмаев, Дмитрий Александрович, Алмаев, Алексей Викторович, Николаев, Владимир Иванович, Бутенко, Павел Николаевич, Щеглов, Михаил Петрович, Чикиряка, Андрей Викторович, Печников, Алексей Игоревич
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
пленки оксида индия
хлоридная газофазная эпитаксия
газочувствительные свойства
сигналы-отклики
статьи в журналах
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001017853

Internet

http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001017853

Similar Items