|
|
|
|
| LEADER |
03225nab a2200385 c 4500 |
| 001 |
koha001017853 |
| 005 |
20240216125226.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240125|2023 ru s c rus d |
| 024 |
7 |
|
|a 10.21883/FTP.2023.03.55626.4704
|2 doi
|
| 035 |
|
|
|a koha001017853
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Высокая чувствительность пленок оксида индия, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии, к аммиаку
|c Д. А. Алмаев, А. В. Алмаев, В. И. Николаев [и др.]
|
| 246 |
1 |
1 |
|a High sensitivity of halide vapor phase epitaxy grown indium oxide films to ammonia
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 46 назв.
|
| 520 |
3 |
|
|a Исследовано влияние H2, NH3, CO и O2 на электропроводящие свойства пленок In2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 200-550oC пленки In2O3 демонстрируют газовую чувствительность ко всем рассмотренным газам, имея относительно высокое быстродействие и повторяемость циклов. Наибольший отклик был получен при воздействии NH3, который при температуре 400oС и концентрации газа 1000 млн-1 превысил 33 отн.ед. Предложен качественный механизм газовой чувствительности пленок In2O3. Полученные газочувствительные характеристики сопоставлены с известными сенсорами NH3 на основе различных материалов. Показано, что метод хлоридной газофазной эпитаксии позволяет получать пленки оксида индия с высокой газовой чувствительностью.
|
| 653 |
|
|
|a пленки оксида индия
|
| 653 |
|
|
|a хлоридная газофазная эпитаксия
|
| 653 |
|
|
|a газочувствительные свойства
|
| 653 |
|
|
|a сигналы-отклики
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Алмаев, Дмитрий Александрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Алмаев, Алексей Викторович
|
| 700 |
1 |
|
|a Николаев, Владимир Иванович
|
| 700 |
1 |
|
|a Бутенко, Павел Николаевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Щеглов, Михаил Петрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Чикиряка, Андрей Викторович
|
| 700 |
1 |
|
|a Печников, Алексей Игоревич
|
| 773 |
0 |
|
|t Физика и техника полупроводников
|d 2023
|g Т. 57, № 3. С. 145-152
|x 0015-3222
|w 0028-44860
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001017853
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1017853
|d 1017853
|
