Высокая чувствительность пленок оксида индия, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии, к аммиаку

Высокая чувствительность пленок оксида индия, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии, к аммиаку

Исследовано влияние H2, NH3, CO и O2 на электропроводящие свойства пленок In2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 200-550oC пленки In2O3 демонстрируют газовую чувствительность ко всем рассмотренным газам, имея относительно высокое быстродействие и повторяемос...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Физика и техника полупроводников Т. 57, № 3. С. 145-152
Другие авторы:	Алмаев, Дмитрий Александрович, Алмаев, Алексей Викторович, Николаев, Владимир Иванович, Бутенко, Павел Николаевич, Щеглов, Михаил Петрович, Чикиряка, Андрей Викторович, Печников, Алексей Игоревич
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	пленки оксида индия хлоридная газофазная эпитаксия газочувствительные свойства сигналы-отклики статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001017853

Похожие документы

Газочувствительные свойства пленок твердого раствора In2O3-Ga2O3

Влияние влажности окружающей среды на электрическую проводимость полиморфных Ga2O3-структур

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 1.3.11
по: Петрова, Юлианна Сергеевна
Публикация: (2022)

Получение пленок на основе оксида титана(IV) с оксидом церия(IV) из пленкообразующих растворов
по: Федосов, Дмитрий Сергеевич

Магнитные свойства наночастиц оксида железа, полученных методом лазерного испарения

Плазмохимический синтез, исследование и применение тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 монография
Публикация: (2024)

Свойства структур на основе пленок оксида галлия
по: Лыгденова, Туяна Зоригтоевна

Газопоглощающая способность оксида олова, активированного сурьмой
по: Иконникова, Любовь Федоровна

Пост-эффекты при фотовосстановлении пленок оксида графена

Солнечно-слепые детекторы УФ-излучения на основе пленок оксида галлия
по: Петрова, Юлианна Сергеевна

Влияние добавок Pt, Pd, Au на поверхности и в объеме тонких пленок диоксида олова на электрические и газочувствительные свойства

Исследование газочувствительных свойств и структуры тонких пленок Ga2O3:Cr при воздействии кислорода

Исследование светодиодов из AlGaInP методикой спектроскопии адмиттанса
по: Олейник, Владимир Леонидович

Морфология микродуговых кальцийфосфатных покрытий с наночастицами оксида цинка
по: Бажанова, Вероника Сергеевна

Фотокаталитические свойства пленок на основе ZnO, полученных золь-гель методом
по: Монгуш, Евгения Эрес-Ооловна

Effect of oxygen on the Gas-sensitive properties of α-Ga2O3/ε-Ga2O3 structures

Effects of sapphire substrate orientation on Sn-doped α-Ga2O3 grown by halide vapor phase epitaxy using α-Cr2O3 buffers

Electrical properties of α-Ga2O3 films grown by halide vapor phase epitaxy on sapphire with α-Cr2O3 buffers

Impact of Cr2O3 additives on the gas-sensitive properties of β-Ga2O3 thin films to oxygen, hydrogen, carbon monoxide, and toluene vapors

Динамические особенности автодинных сигналов
по: Носков, Владислав Яковлевич

Влияние висмута на свойства тонких пленок на основе диоксида олова

Структура и свойства микродуговых кальцийфосфатных покрытий, модифицированных наночастицами оксида цинка

Газочувствительные свойства тонких пленок Pt/SnO2:Sb при воздействии CO и C2H2 в режиме импульсного нагрева
по: Воронянский, В. М.

Effect of Si+ ion irradiation of α-Ga 2O3 epitaxial layers on their hydrogen sensitivity

Effect of Si+ ion implantation in α-Ga2O3 films on their gas sensitivity

Влияние условий катодного напыления на газочувствительные свойства пленок диоксида олова

Вклад наночастиц Al2O3 в структуру и чувствительность к изменению скорости деформирования нелегированного алюминия марки А0

Диэлектрические свойства нанокомпозитов триглицинсульфат – наночастицы оксида алюминия

Hydrogen sensors based on Pt/α-Ga2O3:Sn/Pt structures

ITO thin films for low-resistance gas sensors

Центры окраски в полых частицах оксида алюминия индуцированные воздействием протонов

Влияние сурьмы на электрические и газочувствительные свойства пленок диоксида олова

Характеристики сенсоров водорода на основе тонких пленок Pt/SnO2:Sb в режимах постоянного и импульсного нагрева
по: Сергейченко, Надежда Владимировна

Исследование поведения наносистем на основе магнитных наночастиц оксида железа, предназначенных для адресной доставки в опухоль, in vivo
по: Семчина, Александра Александровна

Временной отклик многопроводных линий передачи/
по: Заболоцкий, А. М. Александр Михайлович, et al.
Публикация: (2007)

Effect of gold and nickel co-additives on gas-sensitive characteristics of SnO2 thin-film on exposure to hydrogen and nitrogen dioxide
по: Almaev, Aleksei V.

Зависимость характеристик сенсоров NO2 на основе тонких пленок WO3 от их микроструктуры
по: Юркин, Д. М.

Экспериментальное исследование влияния наночастиц оксида кремния на режимы двухфазного течения в Y-образном микроканале

Свойства пленок TiO2 на кремниевых подложках

Нелинейные бегущие волны и "отрицательная теплоемкость" в среде с конкурирующими источниками
по: Шабловский, Олег Никифорович