Моделирование технологических процессов микроэлектроники
| Другие авторы: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.
Наука
1992
|
| Серии: | Труды ФТИАН; Рос. акад. наук, Физ.-технол. ин-т
Гл. ред. К. А. Валиев |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Internet
Перейти в каталог НБ ТГУНаучная библиотека ТГУ: Книгохранилище
| Шифр: |
1-790242 |
|---|---|
| В каталоге библиотеки Зарезервировать |