Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления
Cформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия....
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 1. С. 76-81 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130399 |