Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления

Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления

Cформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия....

Full description

Bibliographic Details
Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 1. С. 76-81
Main Author:	Князева, Анна Георгиевна
Other Authors:	Шанин, Сергей Александрович
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	магнетронное напыление наноструктурные покрытия математическое моделирование магнетронная плазма статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130399

Description
Summary:	Cформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия.
Bibliography:	Библиогр.: 8 назв.
ISSN:	0021-3411