Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления
Cформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия....
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 1. С. 76-81 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130399 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 01813nab a2200325 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001130399 | ||
| 005 | 20241024123554.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240220|2010 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001130399 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 100 | 1 | |a Князева, Анна Георгиевна |9 61920 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления |c А. Г. Князева, С. А. Шанин |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 8 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Cформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия. | |
| 653 | |a магнетронное напыление | ||
| 653 | |a наноструктурные покрытия | ||
| 653 | |a математическое моделирование | ||
| 653 | |a магнетронная плазма | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 952597 | |
| 700 | 1 | |a Шанин, Сергей Александрович |9 90591 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2010 |g Т. 53, № 1. С. 76-81 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130399 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1130399 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1130399 |d 1130399 | ||
| 039 | |b 100 | ||