|
|
|
|
| LEADER |
01628nab a2200301 c 4500 |
| 001 |
koha001130399 |
| 005 |
20241024123554.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240220|2010 ru s c rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001130399
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 100 |
1 |
|
|a Князева, Анна Георгиевна
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления
|c А. Г. Князева, С. А. Шанин
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 8 назв.
|
| 520 |
3 |
|
|a Cформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия.
|
| 653 |
|
|
|a магнетронное напыление
|
| 653 |
|
|
|a наноструктурные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a математическое моделирование
|
| 653 |
|
|
|a магнетронная плазма
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Шанин, Сергей Александрович
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2010
|g Т. 53, № 1. С. 76-81
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130399
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1130399
|d 1130399
|
