Анализ дифракционных картин при эпитаксиальном росте Si на Si(001) в направлениях пучка электронов [110] и [100]

Bibliographic Details
Published in:	Актуальные проблемы радиофизики АПР-2023 : 10-я Международная научно-практическая конференция, 26-29 сентября 2023 года, г. Томск : сборник трудов конференции С. 293-294
Other Authors:	Соколов, Арсений Сергеевич, Кукенов, Олжас Игоревич, Дирко, Владимир Владиславович, Лозовой, Кирилл Александрович, Коханенко, Андрей Павлович
Format:	Book Chapter
Language:	Russian
Subjects:	дифракция быстрых электронов эпитаксиальные слои кремния молекулярно-лучевая эпитаксия полупроводниковые наноструктуры статьи в сборниках
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001132347

Similar Items