LEADER 01807naa a2200325 c 4500
001 koha001132347
005 20241212180514.0
007 cr |
008 240327s2023 ru fs 100 0 rus d
035 |a koha001132347 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Анализ дифракционных картин при эпитаксиальном росте Si на Si(001) в направлениях пучка электронов [110] и [100]  |c А. С. Соколов, О. И. Кукенов, В. В. Дирко [и др.] 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 3 назв. 
653 |a дифракция быстрых электронов 
653 |a эпитаксиальные слои кремния 
653 |a молекулярно-лучевая эпитаксия 
653 |a полупроводниковые наноструктуры 
655 4 |a статьи в сборниках 
700 1 |a Соколов, Арсений Сергеевич 
700 1 |a Кукенов, Олжас Игоревич 
700 1 |a Дирко, Владимир Владиславович 
700 1 |a Лозовой, Кирилл Александрович 
700 1 |a Коханенко, Андрей Павлович 
773 0 |t Актуальные проблемы радиофизики АПР-2023 : 10-я Международная научно-практическая конференция, 26-29 сентября 2023 года, г. Томск : сборник трудов конференции  |d Томск, 2023  |g С. 293-294  |w koha001130157 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001132347 
908 |a статья 
999 |c 1132347  |d 1132347