Система контроля дефектности полупроводниковых пластин и структур

Система контроля дефектности полупроводниковых пластин и структур

Bibliographic Details
Published in:Актуальные проблемы радиофизики АПР-2023 : 10-я Международная научно-практическая конференция, 26-29 сентября 2023 года, г. Томск : сборник трудов конференции С. 310
Other Authors: Винник, Александр Евгеньевич, Тяжев, Антон Владимирович, Толбанов, Олег Петрович, Шаймерденова, Лейла Калитаевна, Скакунов, Максим Сергеевич
Format: Book Chapter
Language:Russian
Subjects:
системы контроля
дефектность
полупроводниковые пластины
полупроводниковые структуры
экспериментальные исследования
статьи в сборниках
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133013

Internet

http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133013

Similar Items