|
|
|
|
| LEADER |
01698naa a2200325 c 4500 |
| 001 |
koha001133013 |
| 005 |
20240723104121.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240409s2023 ru fs 100 0 rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001133013
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Система контроля дефектности полупроводниковых пластин и структур
|c А. Е. Винник, А. В. Тяжев, О. П. Толбанов [и др.]
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 653 |
|
|
|a системы контроля
|
| 653 |
|
|
|a дефектность
|
| 653 |
|
|
|a полупроводниковые пластины
|
| 653 |
|
|
|a полупроводниковые структуры
|
| 653 |
|
|
|a экспериментальные исследования
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в сборниках
|
| 700 |
1 |
|
|a Винник, Александр Евгеньевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Тяжев, Антон Владимирович
|
| 700 |
1 |
|
|a Толбанов, Олег Петрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Шаймерденова, Лейла Калитаевна
|
| 700 |
1 |
|
|a Скакунов, Максим Сергеевич
|
| 773 |
0 |
|
|t Актуальные проблемы радиофизики АПР-2023 : 10-я Международная научно-практическая конференция, 26-29 сентября 2023 года, г. Томск : сборник трудов конференции
|d Томск, 2023
|g С. 310
|w koha001130157
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133013
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1133013
|d 1133013
|
