Микросистемы учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов

Bibliographic Details
Main Author:	Гуртов, Валерий Алексеевич
Other Authors:	Логинов, Дмитрий Владимирович
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Петрозаводск Издательство ПетрГУ 2021
Subjects:	микроэлектромеханические системы (МЭМС) микроэлектромеханические системы, структурные элементы микроэлектромеханические системы, микрообработка микроэлектромеханические системы, материалы микроэлектромеханические системы, технологии микроэлектромеханические устройства датчики давления микрофоны высокочастотные ключи акселерометры магнитометры гироскопы актуаторы (исполнительные машины) датчики температуры микроэлектромеханические системы оптические микроэлектромеханические системы биомедицинские электромеханические устройства, методы анализа компьютерное моделирование микроэлектромеханических систем наноэлектромеханические системы нанонити, формирование нанорезонаторы микроэлектромеханические системы, герметизация микроэлектромеханические системы, корпусирование микроэлектромеханические системы, стандартизация микроэлектромеханические системы, классификация

Микросистемы учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов

Similar Items