Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 2. С. 106-108 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133469 |