|
|
|
|
| LEADER |
01389nab a2200301 c 4500 |
| 001 |
koha001133469 |
| 005 |
20240604160339.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240416|2011 ru s c rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001133469
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 100 |
1 |
|
|a Струнин, Владимир Иванович
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы
|c В. И. Струнин, А. С. Демин, Г. Ж. Худайбергенов
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 6 назв.
|
| 653 |
|
|
|a плазма аргон-силановая
|
| 653 |
|
|
|a осаждение тонких пленок
|
| 653 |
|
|
|a оптико-эмиссионная спектроскопия
|
| 653 |
|
|
|a экспериментальные исследования
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Демин, Алекcандр Сергеевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Худайбергенов, Гамзат Жапарович
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2011
|g Т. 54, № 2. С. 106-108
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133469
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1133469
|d 1133469
|
