Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы

Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы

Bibliographic Details
Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 2. С. 106-108
Main Author:	Струнин, Владимир Иванович
Other Authors:	Демин, Алекcандр Сергеевич, Худайбергенов, Гамзат Жапарович
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	плазма аргон-силановая осаждение тонких пленок оптико-эмиссионная спектроскопия экспериментальные исследования статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133469

Similar Items

Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда

Моделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.02.05
by: Ляхов, Анатолий Александрович
Published: (2018)

Расчет химического состава гелий-силановой плазмы
by: Струнин, Владимир Иванович

Численный анализ кинетики химических реакций в аргон-силановой плазме тлеющего разряда
by: Ляхов, Анатолий Александрович

Лазерно-искровая эмиссионная спектроскопия
by: Кремерс, Дэвид А.
Published: (2009)

Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/
by: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Published: (1989)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Линник, С. А. физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1985-
Published: (2013)

The optical emission spectroscopy of pulsed and pulse-periodic discharges initiated with runaway electrons
by: Lomaev, Mikhail I.

The optical emission spectroscopy of pulsed and pulse-periodic discharges initiated with runaway electrons
by: Lomaev, Mikhail I.

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Линник, С. А. физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1985-
Published: (2013)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Линник, С. А. физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1985-
Published: (2013)

Синтез тонкопленочных материалов и изучение их свойств учебно-методическое пособие : [для студентов IV и V курсов химического факультета (направление подготовки 04.04.01, 04.03.01 - Химия, профили подготовки - Химия твердого тела и химия материалов)
Published: (2014)

Авто-, термо- и вторично-электронная эмиссионная спектроскопия
by: Модинос, Антонис
Published: (1990)

Лазерная оптико-акустическая спектроскопия
by: Жаров, Владимир Павлович
Published: (1984)

Спектроскопия переохлажденной плазмы гелия
by: Янчарина, Александра Макаровна

Получение дисперсных и тонкопленочных материалов на основе оксидов титана, кремния и хрома
by: Рогачева, Анастасия Олеговна

Микроструктурирование тонких пленок
Published: (1991)

Физика металлических пленок размерные и структурные эффекты
by: Комник, Юрий Федорович
Published: (1979)

Тонкопленочные неорганические наносистемы
by: Борило, Людмила Павловна
Published: (2012)

Влияние внутрикамерной имплантации тонких пленок на основе полимолочной кислоты на структуры переднего отрезка глаза

Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объекте: научное издание/
by: Бубнов, Ю. З., et al.
Published: (1975)

Тонкие пленки и их применение в радиоизмерительной технике
by: Югов, Владимир Алексеевич
Published: (1964)

Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона

Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/
by: Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, et al.
Published: (1969)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин, Евгений Владимирович
Published: (2014)

Свойства пленок ZnO:Al, ZnO:Al-Sio2, полученных золь-гель-методом из пленкообразующих растворов
by: Кузнецова, Светлана Анатольевна химик

Химическое состояние и атомная структура поверхности г. ц. к. металлов в реакции взаимодействия с галогенами
Published: (2003)

Термическое испарение в вакууме при производстве изделий радиоэлектроники: производственно-практическое издание/
by: Кондратов, А. В. Альберт Владимирович, et al.
Published: (1986)

Плазмохимический синтез, исследование и применение тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 монография
Published: (2024)

Импульсное осаждение полупроводниковых плёнок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/
by: Салтымаков, М. С. Максим Сергеевич
Published: (2010)

Оценка окислительного эффекта нетермальной аргоновой плазмы на поверхность ферросульфатного дозиметра

Параметры уширения линий поглощения молекулы воды давлением аргона, полученные с помощью различных моделей формы контура

Эмиссионная электроника
Published: (2009)

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
Published: (2013)

Electrochemical synthesis and characterization of CeO2–Gd2O3 thin films
by: Khalipova, Olga S.

Теоретическое исследование травления поверхности BiTeCl атомарным водородом
by: Швец, Игорь Анатольевич

Электрические и фотоэлектрические свойства структур металл-халькогенидное стекло (Te48 As30 Si12 Ge10) - металл диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Бадлуев, Алексей Ильич
Published: (1981)

Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/
Published: (1994)

Управление свойствами пленок, получаемых плазмохимическим осаждением
by: Лакида, Павел Алексеевич