Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы

Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 2. С. 106-108
Главный автор:	Струнин, Владимир Иванович
Другие авторы:	Демин, Алекcандр Сергеевич, Худайбергенов, Гамзат Жапарович
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	плазма аргон-силановая осаждение тонких пленок оптико-эмиссионная спектроскопия экспериментальные исследования статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133469

Похожие документы

Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда

Моделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.02.05
по: Ляхов, Анатолий Александрович
Публикация: (2018)

Расчет химического состава гелий-силановой плазмы
по: Струнин, Владимир Иванович

Численный анализ кинетики химических реакций в аргон-силановой плазме тлеющего разряда
по: Ляхов, Анатолий Александрович

Лазерно-искровая эмиссионная спектроскопия
по: Кремерс, Дэвид А.
Публикация: (2009)

Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/
по: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Публикация: (1989)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Линник, С. А. физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1985-
Публикация: (2013)

The optical emission spectroscopy of pulsed and pulse-periodic discharges initiated with runaway electrons
по: Lomaev, Mikhail I.

The optical emission spectroscopy of pulsed and pulse-periodic discharges initiated with runaway electrons
по: Lomaev, Mikhail I.

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Линник, С. А. физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1985-
Публикация: (2013)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Линник, С. А. физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1985-
Публикация: (2013)

Синтез тонкопленочных материалов и изучение их свойств учебно-методическое пособие : [для студентов IV и V курсов химического факультета (направление подготовки 04.04.01, 04.03.01 - Химия, профили подготовки - Химия твердого тела и химия материалов)
Публикация: (2014)

Авто-, термо- и вторично-электронная эмиссионная спектроскопия
по: Модинос, Антонис
Публикация: (1990)

Лазерная оптико-акустическая спектроскопия
по: Жаров, Владимир Павлович
Публикация: (1984)

Спектроскопия переохлажденной плазмы гелия
по: Янчарина, Александра Макаровна

Получение дисперсных и тонкопленочных материалов на основе оксидов титана, кремния и хрома
по: Рогачева, Анастасия Олеговна

Микроструктурирование тонких пленок
Публикация: (1991)

Физика металлических пленок размерные и структурные эффекты
по: Комник, Юрий Федорович
Публикация: (1979)

Тонкопленочные неорганические наносистемы
по: Борило, Людмила Павловна
Публикация: (2012)

Влияние внутрикамерной имплантации тонких пленок на основе полимолочной кислоты на структуры переднего отрезка глаза

Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объекте: научное издание/
по: Бубнов, Ю. З., et al.
Публикация: (1975)

Тонкие пленки и их применение в радиоизмерительной технике
по: Югов, Владимир Алексеевич
Публикация: (1964)

Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона

Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/
по: Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, et al.
Публикация: (1969)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
по: Берлин, Евгений Владимирович
Публикация: (2014)

Свойства пленок ZnO:Al, ZnO:Al-Sio2, полученных золь-гель-методом из пленкообразующих растворов
по: Кузнецова, Светлана Анатольевна химик

Химическое состояние и атомная структура поверхности г. ц. к. металлов в реакции взаимодействия с галогенами
Публикация: (2003)

Термическое испарение в вакууме при производстве изделий радиоэлектроники: производственно-практическое издание/
по: Кондратов, А. В. Альберт Владимирович, et al.
Публикация: (1986)

Плазмохимический синтез, исследование и применение тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 монография
Публикация: (2024)

Импульсное осаждение полупроводниковых плёнок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/
по: Салтымаков, М. С. Максим Сергеевич
Публикация: (2010)

Оценка окислительного эффекта нетермальной аргоновой плазмы на поверхность ферросульфатного дозиметра

Параметры уширения линий поглощения молекулы воды давлением аргона, полученные с помощью различных моделей формы контура

Эмиссионная электроника
Публикация: (2009)

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
Публикация: (2013)

Electrochemical synthesis and characterization of CeO2–Gd2O3 thin films
по: Khalipova, Olga S.

Теоретическое исследование травления поверхности BiTeCl атомарным водородом
по: Швец, Игорь Анатольевич

Электрические и фотоэлектрические свойства структур металл-халькогенидное стекло (Te48 As30 Si12 Ge10) - металл диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Бадлуев, Алексей Ильич
Публикация: (1981)

Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/
Публикация: (1994)

Управление свойствами пленок, получаемых плазмохимическим осаждением
по: Лакида, Павел Алексеевич