Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 2. С. 106-108 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133469 |