Влияние материала подложки на свойства пленок оксида тантала

Влияние материала подложки на свойства пленок оксида тантала

Исследовано влияние материала подложки на электрические характеристики пленок ТаxОy, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени, изготовленной из оксида тантала. Установлено влияние кислородной плазмы на токи утечки, величину диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь то...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 12. С. 83-88
Other Authors: Калыгина, Вера Михайловна, Зарубин, Андрей Николаевич, Новиков, Вадим Александрович, Петрова, Юлианна Сергеевна, Скакунов, Максим Сергеевич, Толбанов, Олег Петрович, Тяжев, Антон Владимирович, Яскевич, Тамара Михайловна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
оксиды тантала
кислородная плазма
диэлектрическая проницаемость
диэлектрические потери
подложки
статьи в журналах
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139047

Internet

http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139047

Similar Items