Влияние материала подложки на свойства пленок оксида тантала
Исследовано влияние материала подложки на электрические характеристики пленок ТаxОy, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени, изготовленной из оксида тантала. Установлено влияние кислородной плазмы на токи утечки, величину диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 12. С. 83-88 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139047 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02845nab a2200409 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001139047 | ||
| 005 | 20240723104128.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240503|2010 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001139047 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Влияние материала подложки на свойства пленок оксида тантала |c В. М. Калыгина, А. Н. Зарубин, В. А. Новиков [и др.] |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 10 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Исследовано влияние материала подложки на электрические характеристики пленок ТаxОy, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени, изготовленной из оксида тантала. Установлено влияние кислородной плазмы на токи утечки, величину диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь тонких слоев (300-400 нм) ТаxОy. Предложено использовать обработку пленок оксида тантала в кислородной плазме для управления их электрическими и диэлектрическими характеристиками. | |
| 653 | |a оксиды тантала | ||
| 653 | |a кислородная плазма | ||
| 653 | |a диэлектрическая проницаемость | ||
| 653 | |a диэлектрические потери | ||
| 653 | |a подложки | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 961016 | |
| 700 | 1 | |a Калыгина, Вера Михайловна |9 74707 | |
| 700 | 1 | |a Зарубин, Андрей Николаевич |9 86743 | |
| 700 | 1 | |a Новиков, Вадим Александрович |9 83069 | |
| 700 | 1 | |a Петрова, Юлианна Сергеевна |9 89199 | |
| 700 | 1 | |a Скакунов, Максим Сергеевич |9 89075 | |
| 700 | 1 | |a Толбанов, Олег Петрович |9 67379 | |
| 700 | 1 | |a Тяжев, Антон Владимирович |9 82286 | |
| 700 | 1 | |a Яскевич, Тамара Михайловна |9 89074 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2010 |g Т. 53, № 12. С. 83-88 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139047 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1139047 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 039 | |b 100 | ||
| 999 | |c 1139047 |d 1139047 | ||