|
|
|
|
| LEADER |
02606nab a2200385 c 4500 |
| 001 |
koha001139047 |
| 005 |
20240723104128.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240503|2010 ru s c rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001139047
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Влияние материала подложки на свойства пленок оксида тантала
|c В. М. Калыгина, А. Н. Зарубин, В. А. Новиков [и др.]
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 10 назв.
|
| 520 |
3 |
|
|a Исследовано влияние материала подложки на электрические характеристики пленок ТаxОy, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени, изготовленной из оксида тантала. Установлено влияние кислородной плазмы на токи утечки, величину диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь тонких слоев (300–400 нм) ТаxОy. Предложено использовать обработку пленок оксида тантала в кислородной плазме для управления их электрическими и диэлектрическими характеристиками.
|
| 653 |
|
|
|a оксиды тантала
|
| 653 |
|
|
|a кислородная плазма
|
| 653 |
|
|
|a диэлектрическая проницаемость
|
| 653 |
|
|
|a диэлектрические потери
|
| 653 |
|
|
|a подложки
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Калыгина, Вера Михайловна
|
| 700 |
1 |
|
|a Зарубин, Андрей Николаевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Новиков, Вадим Александрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Петрова, Юлианна Сергеевна
|
| 700 |
1 |
|
|a Скакунов, Максим Сергеевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Толбанов, Олег Петрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Тяжев, Антон Владимирович
|
| 700 |
1 |
|
|a Яскевич, Тамара Михайловна
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2010
|g Т. 53, № 12. С. 83-88
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139047
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1139047
|d 1139047
|
