Влияние материала подложки на свойства пленок оксида тантала

Влияние материала подложки на свойства пленок оксида тантала

Исследовано влияние материала подложки на электрические характеристики пленок ТаxОy, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени, изготовленной из оксида тантала. Установлено влияние кислородной плазмы на токи утечки, величину диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь то...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 12. С. 83-88
Другие авторы:	Калыгина, Вера Михайловна, Зарубин, Андрей Николаевич, Новиков, Вадим Александрович, Петрова, Юлианна Сергеевна, Скакунов, Максим Сергеевич, Толбанов, Олег Петрович, Тяжев, Антон Владимирович, Яскевич, Тамара Михайловна
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	оксиды тантала кислородная плазма диэлектрическая проницаемость диэлектрические потери подложки статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139047

Похожие документы

Исследование электрических характеристик структур TiO2-Si

Исследование физико-химических процессов формирования нанопленок оксида тантала (V)
по: Лисенко, О. В.

Диэлектрические свойства бинарных растворов
по: Ахадов, Ядулла Юсупович
Публикация: (1977)

Влияние термического отжига и воздействия кислородной плазмы на свойства структур TiO2-Si

Влияние гамма-облучения на диэлектрические свойства кристаллизующихся полимеров диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Ольшанская, Нина Ивановна
Публикация: (1964)

Диэлектрические свойства чистых жидкостей справочник
по: Ахадов, Ядулла Юсупович
Публикация: (1972)

Влияние материала подложки на формирование и свойства микродуговых покрытий с частицами β-трикальцийфосфата

Измерение диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь нанопорошков магнитодиэлектриков и композитов на их основе в гигагерцовом диапазоне. Круговой цилиндрический резонатор учебно-методическое пособие : для студентов старших курсов радиофизического факультета
Публикация: (2022)

Кинетические закономерности фотокаталитического генерирования H2 из HCOOH на металлокерамических композитах при облучении видимым светом

Свойства пленок TiO2 на кремниевых подложках

Свойства структур на основе пленок оксида галлия
по: Лыгденова, Туяна Зоригтоевна

Диэлектрические свойства сегнетоэлектрических композитов (SС(NH2)2)0.90/(BaTiO3)0.10 и (SС(NH2)2)0.90/(C6H16NBr)0.10
по: Милинский, Алексей Юрьевич

Dielectric properties of marsh vegetation
по: Kochetkova, Tatiana D.

Рассеивающие свойства радиально неоднородного шара из металлических наночастиц и диэлектрической матрицы

Диэлектрические свойства болотной растительности в диапазоне частот 0.1-18 ГГц при вариациях температуры и влажности

Исследование радиационно-электрических эффектов в некоторых твердых диэлектриках диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Нестеров, Владимир Михайлович физик
Публикация: (1963)

Междуслойная поляризация и диэлектрические потери в кристаллах слюды диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Афанасьев, Николай Владимирович
Публикация: (1962)

Радиационные эффекты в некоторых полярных жесткоцепных полимерах диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Будникова, Елена Сергеевна
Публикация: (1968)

Диэлектрические свойства почв Томского района в зависимости от глубины залегания
по: Филкова, Вероника Андреевна

Основы прогнозирования, поисков и перспективной оценки месторождений тантала и ниобия
Публикация: (1983)

Минералы ниобия и тантала в гранитных пегматитах Монгольского Алтая
по: Коноваленко, Сергей Иванович 1947-2016

Influence of ultrasonic treatment on electromagnetic characteristics of composites based on multiwall carbon nanotubes at wide range of frequencies (100 Hz - 258 GHz)
по: Kachusova, Anastasia O.

Радиоволновая дефектоскопия плоских электрических материалов с включениями
по: Емельянов, Евгений Витальевич

Диэлектрические свойства композиционного материала на основе BaTiO3 со структурой "ядро - оболочка"

Диэлектрические свойства нанокомпозитов триглицинсульфат – наночастицы оксида алюминия

Методы исследования электрических свойств полимеров
по: Лущейкин, Георгий Акимович
Публикация: (2000)

Изучение электрических свойств сегнетоэлектриков учебно-методическое пособие
Публикация: (2008)

Электромагнитные свойства плазмы и плазмоподобных сред
по: Силин, Виктор Павлович 1926-2019
Публикация: (2013)

Ориентационная упорядоченность элементов дерева в модели диэлектрической проницаемости древостоя

Влияние размерных эффектов на эффективную магнитную проницаемость магнитодиэлектриков
по: Журавлев, Виктор Алексеевич

Диэлектрический метод исследования вещества
по: Потапов, Алексей Алексеевич
Публикация: (1990)

Диэлектрические свойства торфа
по: Безверхняя, Екатерина Ивановна

Анодные пленки Ga2О3 в МДП-структурах на основе арсенида галлия

Измерения электрофизических параметров плоских образцов материала

Analysis of dielectric spectra of water with conductive impurities in a wide frequency range

Аналитическое исследование диэлектрической релаксации в ионных кристаллах диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10
по: Миронов, Владимир Алексеевич
Публикация: (1973)

Спектры магнитной проницаемости и радиопоглощающие свойства композитов на основе карбонильного железа
по: Журавлев, Виктор Алексеевич

Диэлектрическая сепарация твердых тел [сборник статей]
Публикация: (1966)

Фундаментальные оптические функции и параметры элементарных полос переходов кристалла Mg2Ge
по: Соболев, Валентин Валентинович

Влияние анодного окисла на концентрацию электронов в n-GaAs