Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения

На базе созданного оригинального технологического комплекса разработан технологический комбинированный процесс формирования градиентно-слоистых поверхностных слоев и многокомпонентных покрытий. Процесс реализуется в условиях совмещенной последовательно-одновременной работы газового плазмогенератора...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 7. С. 26-34
Main Author: Савостиков, Виктор Михайлович
Other Authors: Потекаев, Александр Иванович 1951-, Табаченко, Анатолий Никитович 1946-2017
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139795