Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения

На базе созданного оригинального технологического комплекса разработан технологический комбинированный процесс формирования градиентно-слоистых поверхностных слоев и многокомпонентных покрытий. Процесс реализуется в условиях совмещенной последовательно-одновременной работы газового плазмогенера...

Полное описание

Библиографическая информация

Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 7. С. 26-34
Главный автор:	Савостиков, Виктор Михайлович
Другие авторы:	Потекаев, Александр Иванович 1951-, Табаченко, Анатолий Никитович 1946-2017
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	градиентно-слоистые покрытия ионно-диффузионное насыщение магнетронное и вакуумно-дуговое осаждения статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139795 Перейти в каталог НБ ТГУ