Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения
На базе созданного оригинального технологического комплекса разработан технологический комбинированный процесс формирования градиентно-слоистых поверхностных слоев и многокомпонентных покрытий. Процесс реализуется в условиях совмещенной последовательно-одновременной работы газового плазмогенера...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 7. С. 26-34 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139795 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03899nab a2200325 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001139795 | ||
| 005 | 20240723101058.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240522|2011 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001139795 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 100 | 1 | |a Савостиков, Виктор Михайлович |9 89241 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения |c В. М. Савостиков, А. И. Потекаев, А. Н. Табаченко |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 38 назв. | ||
| 520 | 3 | |a На базе созданного оригинального технологического комплекса разработан технологический комбинированный процесс формирования градиентно-слоистых поверхностных слоев и многокомпонентных покрытий. Процесс реализуется в условиях совмещенной последовательно-одновременной работы газового плазмогенератора с накаливаемым катодом, дуомагнетрона с двумя распыляемыми мишенями и двумя электродуговыми испарителями. Расширение функциональных возможностей обеспечивается применением оригинальных многоэлементных и многофазных катодных мишеней в виде соединений по типу боридов, карбидов, силицидов, сульфидов металлов, изготавливаемых СВС-методом с одновременным компактированием. Изменение состава, структуры и физико-механических свойств по сечению градиентно-слоистых поверхностных слоев и покрытий обеспечивается целенаправленным изменением очередности распыляемых катодных мишеней плазменных источников, соотношением интенсивностей плазменных рабочих потоков и варьированием энергии прибывающих на подложку частиц, определяемой значением ускоряющего потенциала на подложке. | |
| 653 | |a градиентно-слоистые покрытия | ||
| 653 | |a ионно-диффузионное насыщение | ||
| 653 | |a магнетронное и вакуумно-дуговое осаждения | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 962393 | |
| 700 | 1 | |a Потекаев, Александр Иванович |d 1951- |9 54387 | |
| 700 | 1 | |a Табаченко, Анатолий Никитович |d 1946-2017 |9 84093 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2011 |g Т. 54, № 7. С. 26-34 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139795 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1139795 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 039 | |z 100 |b 100 | ||
| 999 | |c 1139795 |d 1139795 | ||