Влияние параметров осаждения на сверхтвердость и стехиометрию наноструктурных пленок Ti–Hf–Si–N

Получены сверхтвердые наноструктурные покрытия (пленки) на основе Ti–Hf–Si–N c высокими физико-механическими свойствами. С помощью ядерных и атомно-физических методов анализа: POP, ВИМС, хромато-масс-спектрометрии, РЭМ c энергодисперсной рентгеновской спектроскопией, дифракционного рентгеновского ан...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 11. С. 38-45
Other Authors:	Погребняк, Александр Дмитриевич, Береснев, Вячеслав Мартынович, Шпак, Анатолий Петрович, Конарский, Петр, Комаров, Фадей Фадеевич, Кирик, Григорий Васильевич, Махмудов, Немат А., Колесников, Дмитрий Александрович, Углов, Владимир Васильевич, Соболь, Олег Валентинович, Каверин, Михаил Валерьевич, Грудницкий, Владимир Владимирович
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	сверхтвердые двухфазные наноструктурные покрытия модуль упругости коэффициент трения элементный состав стехиометрия статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140027