APA (7th ed.) Citation

Погребняк, А. Д., Береснев, В. М., Шпак, А. П., Конарский, П., Комаров, Ф. Ф., Кирик, Г. В., . . . Грудницкий, В. В. Влияние параметров осаждения на сверхтвердость и стехиометрию наноструктурных пленок Ti–Hf–Si–N. Известия высших учебных заведений. Физика, 0026-80960(2011), .

Chicago Style (17th ed.) Citation

Погребняк, Александр Дмитриевич, et al. "Влияние параметров осаждения на сверхтвердость и стехиометрию наноструктурных пленок Ti–Hf–Si–N." Известия высших учебных заведений. Физика 0026-80960, no. 2011 ().

MLA (8th ed.) Citation

Погребняк, Александр Дмитриевич, et al. "Влияние параметров осаждения на сверхтвердость и стехиометрию наноструктурных пленок Ti–Hf–Si–N." Известия высших учебных заведений. Физика, vol. 0026-80960, no. 2011, .