Влияние параметров осаждения на сверхтвердость и стехиометрию наноструктурных пленок Ti-Hf-Si-N
Получены сверхтвердые наноструктурные покрытия (пленки) на основе Ti-Hf-Si-N c высокими физико-механическими свойствами. С помощью ядерных и атомно-физических методов анализа: POP, ВИМС, хромато-масс-спектрометрии, РЭМ c энергодисперсной рентгеновской спектроскопией, дифракционного рентгеновског...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 11. С. 38-45 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140027 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Summary: | Получены сверхтвердые наноструктурные покрытия (пленки) на основе Ti-Hf-Si-N c высокими физико-механическими свойствами. С помощью ядерных и атомно-физических методов анализа: POP, ВИМС, хромато-масс-спектрометрии, РЭМ c энергодисперсной рентгеновской спектроскопией, дифракционного рентгеновского анализа и наноиндентирования - были исследованы элементный и фазовый состав, морфология этих пленок в за-висимости от подаваемого на них потенциала смещения на подложку и давления в камере. Обнаружено, что при уменьшении размера нанозерен nc-(Ti, Hf)N от 6,7 до 5 нм и формировании α-Si3N4 (аморфной или квазиаморфной фазы как прослойки между нанозернами) возрастает нанотвердость от 42,7 до 48,4-1,6 ГПа, однако дальнейшее уменьшение размера кристаллитов (Ti, Hf)N до 4,0 приводит к незначительному уменьшению твердости. Определена стехиометрия состава пленки, которая изменяется от (Ti40-Hf9-Si7,5)N46 до композиции (Ti28-Hf18-Si9)N45, изменяется также значение параметра решетки твердого раствора (Ti, Hf)N. Следует отметить, что в покрытиях с высокой твердостью коэффициент трения наименьший (0,2) и его величина не меняется при истирании всей толщины покрытия. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: 12 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |