|
|
|
|
| LEADER |
04151nab a2200433 c 4500 |
| 001 |
koha001140027 |
| 005 |
20240724114238.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240524|2011 ru s c rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001140027
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Влияние параметров осаждения на сверхтвердость и стехиометрию наноструктурных пленок Ti–Hf–Si–N
|c А. Д. Погребняк, В. М. Береснев, А. П. Шпак [и др.]
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 12 назв.
|
| 520 |
3 |
|
|a Получены сверхтвердые наноструктурные покрытия (пленки) на основе Ti–Hf–Si–N c высокими физико-механическими свойствами. С помощью ядерных и атомно-физических методов анализа: POP, ВИМС, хромато-масс-спектрометрии, РЭМ c энергодисперсной рентгеновской спектроскопией, дифракционного рентгеновского анализа и наноиндентирования – были исследованы элементный и фазовый состав, морфология этих пленок в за-висимости от подаваемого на них потенциала смещения на подложку и давления в камере. Обнаружено, что при уменьшении размера нанозерен nc-(Ti, Hf)N от 6,7 до 5 нм и формировании α-Si3N4 (аморфной или квазиаморфной фазы как прослойки между нанозернами) возрастает нанотвердость от 42,7 до 48,4–1,6 ГПа, однако дальнейшее уменьшение размера кристаллитов (Ti, Hf)N до 4,0 приводит к незначительному уменьшению твердости. Определена стехиометрия состава пленки, которая изменяется от (Ti40–Hf9–Si7,5)N46 до композиции (Ti28–Hf18–Si9)N45, изменяется также значение параметра решетки твердого раствора (Ti, Hf)N. Следует отметить, что в покрытиях с высокой твердостью коэффициент трения наименьший (0,2) и его величина не меняется при истирании всей толщины покрытия.
|
| 653 |
|
|
|a сверхтвердые двухфазные наноструктурные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a модуль упругости
|
| 653 |
|
|
|a коэффициент трения
|
| 653 |
|
|
|a элементный состав
|
| 653 |
|
|
|a стехиометрия
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Погребняк, Александр Дмитриевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Береснев, Вячеслав Мартынович
|
| 700 |
1 |
|
|a Шпак, Анатолий Петрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Конарский, Петр
|
| 700 |
1 |
|
|a Комаров, Фадей Фадеевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Кирик, Григорий Васильевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Махмудов, Немат А.
|
| 700 |
1 |
|
|a Колесников, Дмитрий Александрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Углов, Владимир Васильевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Соболь, Олег Валентинович
|
| 700 |
1 |
|
|a Каверин, Михаил Валерьевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Грудницкий, Владимир Владимирович
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2011
|g Т. 54, № 11. С. 38-45
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140027
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1140027
|d 1140027
|
