Влияние параметров осаждения на сверхтвердость и стехиометрию наноструктурных пленок Ti–Hf–Si–N
Получены сверхтвердые наноструктурные покрытия (пленки) на основе Ti–Hf–Si–N c высокими физико-механическими свойствами. С помощью ядерных и атомно-физических методов анализа: POP, ВИМС, хромато-масс-спектрометрии, РЭМ c энергодисперсной рентгеновской спектроскопией, дифракционного рентгеновского ан...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 11. С. 38-45 |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , , , , , , , , , |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140027 |