Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления

Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для осаждения соединений Ti–O–N. Установлены условия поддерживания величины интенсивности выбранных спектра...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 56, № 10. С. 35-40
Other Authors:	Конищев, Максим Евгеньевич, Кузьмин, Олег Станиславович, Пустовалова, Алла Александровна, Морозова, Наталья Сергеевна, Евдокимов, Кирилл Евгеньевич, Сурменев, Роман Анатольевич, Пичугин, Владимир Федорович, Эппле, Маттиас
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	экспериментальные исследования реактивное магнетронное распыление оксиды титана оксинитриды титана оптическая спектроскопия статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140174