Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления

Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для осаждения соединений Ti–O–N. Установлены условия поддерживания величины интенсивности выбранных спектра...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 56, № 10. С. 35-40
Other Authors: Конищев, Максим Евгеньевич, Кузьмин, Олег Станиславович, Пустовалова, Алла Александровна, Морозова, Наталья Сергеевна, Евдокимов, Кирилл Евгеньевич, Сурменев, Роман Анатольевич, Пичугин, Владимир Федорович, Эппле, Маттиас
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140174
LEADER 03364nab a2200385 c 4500
001 koha001140174
005 20241126115838.0
007 cr |
008 240528|2013 ru s c rus d
035 |a koha001140174 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления  |c М. Е. Конищев, О. С. Кузьмин, А. А. Пустовалова [и др.] 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 18 назв. 
520 3 |a Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для осаждения соединений Ti–O–N. Установлены условия поддерживания величины интенсивности выбранных спектральных линий, обеспечивающие синтез оксидных и оксинитридных покрытий титана. Методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, ИК-спектроскопии, измерения угла смачивания исследованы особенности морфологии, структуры, контактного угла и свободной поверхностной энергии оксидных и оксинитридных покрытий титана на подложках из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики. 
653 |a экспериментальные исследования 
653 |a реактивное магнетронное распыление 
653 |a оксиды титана 
653 |a оксинитриды титана 
653 |a оптическая спектроскопия 
655 4 |a статьи в журналах 
700 1 |a Конищев, Максим Евгеньевич 
700 1 |a Кузьмин, Олег Станиславович 
700 1 |a Пустовалова, Алла Александровна 
700 1 |a Морозова, Наталья Сергеевна 
700 1 |a Евдокимов, Кирилл Евгеньевич 
700 1 |a Сурменев, Роман Анатольевич 
700 1 |a Пичугин, Владимир Федорович 
700 1 |a Эппле, Маттиас 
773 0 |t Известия высших учебных заведений. Физика  |d 2013  |g Т. 56, № 10. С. 35-40  |x 0021-3411  |w 0026-80960 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140174 
908 |a статья 
999 |c 1140174  |d 1140174