Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления
Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для осаждения соединений Ti-O-N. Установлены условия поддерживания величины интенсивности выбранных спе...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 56, № 10. С. 35-40 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140174 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03627nab a2200409 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001140174 | ||
| 005 | 20241126115838.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240528|2013 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001140174 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления |c М. Е. Конищев, О. С. Кузьмин, А. А. Пустовалова [и др.] |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 18 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для осаждения соединений Ti-O-N. Установлены условия поддерживания величины интенсивности выбранных спектральных линий, обеспечивающие синтез оксидных и оксинитридных покрытий титана. Методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, ИК-спектроскопии, измерения угла смачивания исследованы особенности морфологии, структуры, контактного угла и свободной поверхностной энергии оксидных и оксинитридных покрытий титана на подложках из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики. | |
| 653 | |a экспериментальные исследования | ||
| 653 | |a реактивное магнетронное распыление | ||
| 653 | |a оксиды титана | ||
| 653 | |a оксинитриды титана | ||
| 653 | |a оптическая спектроскопия | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 963292 | |
| 700 | 1 | |a Конищев, Максим Евгеньевич |9 500345 | |
| 700 | 1 | |a Кузьмин, Олег Станиславович |9 963293 | |
| 700 | 1 | |a Пустовалова, Алла Александровна |9 475956 | |
| 700 | 1 | |a Морозова, Наталья Сергеевна |9 963295 | |
| 700 | 1 | |a Евдокимов, Кирилл Евгеньевич |9 530080 | |
| 700 | 1 | |a Сурменев, Роман Анатольевич |9 295719 | |
| 700 | 1 | |a Пичугин, Владимир Федорович |9 363880 | |
| 700 | 1 | |a Эппле, Маттиас |9 963613 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2013 |g Т. 56, № 10. С. 35-40 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140174 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1140174 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1140174 |d 1140174 | ||
| 039 | |b 100 | ||